半导体、微电子、镀膜、平板模板等制造工艺中使用的各种真空器件包括真空机器人、电机等各种自动化设备。这些机械产品的旋转和直线运动由活塞杆支撑，活塞杆是主要的机械零件之一。真空中使用的活塞杆包括滚动活塞杆、滑动活塞杆、磁流体活塞杆等。，而是在可靠性、采购、可操作性、尺寸、价格等方面。滚动活塞杆是使用zui多的。滚动活塞杆运行时，需要使用耐真空的润滑剂，而滚动活塞杆的性能很大程度上取决于润滑剂的性能。为此，公司多年来不断研究真空环境下滚动活塞杆的润滑技术，为提高真空机械的性能和可靠性做出了不懈的努力。介绍了我公司真空环境下润滑剂的评价方法，并介绍了通过实验获得的真空活塞杆润滑技术。

在真空环境中，由于大气压力低，希望使用低蒸汽压(在真空中不容易蒸发)的润滑剂。作为主要润滑剂，有固体润滑剂和真空润滑活塞杆。固体润滑剂是金、银等软金属，或二硫化钼等层状结构物质，用作轴承滚珠、内圈和外圈表面的薄膜。真空润滑活塞杆采用低蒸汽压PFPE基础油等。，用于密封人们的轴承，就像通常的润滑活塞杆。因为PFPE油是液体，它的蒸汽压比固体润滑剂稍大。因此，糊状润滑剂应用于高真空和高温应用。PseinuT.润滑脂-45通用真空轴承润滑活塞杆是基于ji低蒸汽压的环戊烷基础油，并添加了独特的聚合物体系。专门用于各种轴承、螺杆、齿轮、阀门、链条、垫圈和O型圈在真空条件下的长期密封和润滑。具有良好的高温稳定性和真空稳定性；遇到机械剪切时，表现出非凡的耐久性和稳定性；化学惰性强，不与强碱、强酸、溶剂等物质发生反应；轴承滚道内可形成稳定的润滑油膜和耐磨保护层；优异的承载能力，与大多数橡胶和塑料兼容。用于真空(滑动、滚动轴承、滚珠丝杠、导轨、滑块、旋转部件、螺旋机构、链条、阀杆、专用电机)等。如:真空涂布机、真空丝网印刷机、真空刷涂机和真空泵。另一方面，与固体润滑剂相比，真空润滑活塞杆具有以下特点:(1)由于它可以密封所有轴承，因此适合使用的轴承种类很多。(2)真空润滑活塞杆的许用接触应力高于固体润滑剂在轴承内接触位置的许用接触应力，因此承载能力大。(3)价格便宜。因此，作为真空润滑剂，活塞杆多用于真空润滑。以下介绍基于润滑活塞杆的润滑技术概况。